ASM国际声明,它从亚洲大型制造商处获取多系统采购令,用于等离子增强原子层沉降堆
PEALDSIO层新氧化物使用测试公司还认证2Xnm节点和下层高容量生产最新应用很可能用到2911端与另一个亚洲开发者一起高容量生产
TominoriYoshida是ASM等离子产品业务单元总经理,他说小说PEALD技术正在经历强市场验证,提供数大存储器制造商的高容量业务他提到公司增长创举扩展IP组合展示技术知识方便使用PEALD应用程序支持内存开发者移向要求为1.Xnm节点
客户采购的PEALD反应堆将安装在亚洲数厂并用于高容量生产系统将用于3Xm技术节点和下方为平面双画目的搭建二电机定购单描述第二大开发商使用PEALD堆高容量生产双重模式应用
PEALD系统能存储二电,如SiO、SiCN和SiNPEALD方法的一个重大好处是它能提供最短温度适配薄膜特征对双型平面技术非常有用,这些技术涉及微电沉入温度响应光阻器以最小化投射并控制关键维度
ASM提供系统包括在XP平台执行数个PEALD反应堆,这是一个固定平台,可用于等离子增强化学蒸发沉降、PEALD堆或热ALD
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