Tegal公司大型欧洲集成设备制造商安装多系统订单,其中包括6540高级等离子交换系统以及多980ACS和900Series等离子交换系统系统将用来生产高K脱钩电容器并分手机和其他无线设备

亚博网站下载Tegal公司副总裁兼首席技术主管Steve Selbrede表示:「我们高级6540等处理难取素材的独特能力,亚博网站下载高K素材正越来越多地用于多芯片模块和芯片机件分离或分离芯片频率与周围噪声亚博网站下载多年以来我们一直使用几种高K素材并拥有独特专利技术解决这些设备刻刻时遇到的许多问题。”

Tegal总裁兼CEOThomas Mika表示,乐于同时加入生产线 并加入最先进开发程序

Tegal6540是一种高密度等离子推送工具,配有独特的Hre-TM反应器和Tegal专利双频RF电量技术并封磁等离子亚博网站下载系统是封存新材料的关键推进器,如高金属电极电容结构以及铁电机、高K二电机、复合半导体和互连材料980ACS和900序列取工具是高通量取法应用中最有成本效益的解决方案

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