随着LED照明需求的增加，牛津仪器等离子体技术在高亮度led的制造中发挥着越来越重要的作用。现在，LED制造的领导者之一，位于德国Landshut的Optogan集团，已经为牛津仪器的蚀刻和沉积系统下了多系统订单。其中包括PlasmaPro System133 ICP和PlasmaPro 800Plus RIE蚀刻系统，以及PlasmaPro 800Plus沉积系统。
的PlasmaPro System133过程工具提供了多达27 x 2”蓝宝石上氮化镓晶片批腐蚀能力,而PlasmaPro 800 +工具是等离子体刻蚀和沉积过程的灵活的解决方案在大型晶片的批次43 x 2”晶片,在紧凑的足迹,open-loading系统。Optogan集团为包括固态照明在内的全球应用开发和生产HB led，并已订购该系统安装在其位于Landshut的大批量生产生产线上。
牛津仪器公司的PlasmaPro800Plus RIE系统
牛津仪器等离子体技术销售和客户支持总监Mark Vosloo说:“我们很高兴Optogan，一家欧洲领先的LED制造商，选择了牛津仪器的蚀刻和沉积生产系统，用于他们的Landshut工厂。现在已经进一步选择了牛津仪器的生产系统，以实现他们的大批量、高产量和高速性能。作为LED市场生产设备的领先供应商，我们为客户提供先进的技术系统和工艺，app亚博体育由专业的工程师支持安装和售后照顾行业需求。”
Optogan GmbH的董事总经理Hans-Peter Ehweiner很清楚公司对供应商的选择，“我们已经成功地与牛津仪器的系统合作了几年。高吞吐量、可重复性和优秀的本地客户支持是确保我们在德国LED芯片制造业强劲增长的关键因素。”
牛津仪器通过创新将智能科学转化为世界一流的产品，将技能和经验用于新思想和新技术，以满足21世纪的需亚博老虎机网登录求。