Veeco Instruments Inc.(纳斯达克:VECO)今天宣布,总部位于台湾的Epistar公司为Veeco的TurboDisc(R) K465i(TM)氮化镓(GaN)金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统下了多工具订单,用于生产高容量发光二极管(LED)。
Epistar总裁M.J. Jou博士评论道:“自从我们在5月份将Veeco的工具用于生产以来,我们对他们的表现非常满意。考虑到系统的易用性和低成本,我们现在计划将Veeco列为Epistar的重要供应商。”
比尔米勒,博士,培育副总裁,韦科西政治议会执行副总裁和韦科的MOCVD行动负责人,“我们很高兴继续与2010年与Epistar建立这种强有力的关系,并高兴地支持他们目前和未来的MOCVD要求。”
K465i具有卓越的波长均匀性和良好的运行重复性,经生产验证的K465i扩大了Veeco在资本效率方面的领先地位,为大批量LED制造商提供了资本美元每天的良好晶圆数量。K465i提供了易于调整的快速工艺优化的晶圆尺寸高达8英寸和快速的工具恢复时间后维护。