EV组（EVG）是MEMS，纳米技术和半导体市场的晶圆粘合和光刻设备的主要供应商，今天宣布从Fraunhofer电子纳米系统app亚博体育ENAS（德国Chemnitz）收到其第一阶。
Fraunhofer Enas购买了EVG6200NT自动面罩对准器和EVG540自动晶圆螺纹，并将采用灵活的，多进程的EVG系统用于面膜光刻，紫外线纳米透明仪（UV-NIL），UV-NIL），键合，键合，键合，粘合和热等形（He）。该系统将使Fraunhofer ENA能够处理直径高达200毫米的产品晶片，并计划在11月初提供。
Fraunhofer ENA与Chemnitz Technology的微技术中心密切合作，运营着最先进的洁净室设施。该研究所与全球主要客户紧密合作，将其工业研究集中在MEM/NEM，后端（BEOL）微型和纳米电子过程，3D IC集成和可靠性上。Fraunhofer Enas的教授兼董事Thomas Gessner博士说，享有声望的机构选择EVG Systems的主要原因是他们提供的先进技术能力。Gessner教授说：“零和热压花是扩展我们先进的研发工作的关键过程。”“ EVG系统使我们能够比竞争性工具更好地实施这些技术。现在，我们可以执行全区域纳米印刷品，以及光学上的紫外线，而他在较大的蜡中，进一步扩大了我们支持广泛范围的能力过程。”
EVG最近宣布的软分子尺度UV-NIL或SMS-NIL技术模式超高分辨率的功能可在EVG验证的UV-NIL系统上降至12.5 nm。该技术使用软聚合物工作邮票来避免损坏昂贵的主邮票，与其他纳米造成的技术相比，加工成本明显降低。EVG报告说，SMS-NIL已经用于CMOS图像传感器，微镜头成型和其他光学应用的工业环境中。
EVG的公司技术发展和IP Markus Wimplinger说：“诸如Fraunhofer ENA等领先的研究合作伙伴的命令强调了我们正在进行的开发和实施新的领先技术的努力的价值，这些技术补充和扩展了我们系统的应用。”导演。“我们的工具的灵活性不仅会允许Fraunhofer ENA仅在两个系统上执行多个光刻，对齐和键合过程，而且通过两家公司之间的密切合作，例如EVG的独特SMS-NIL技术，以及热潮的过程，以及热潮的过程，将被实施并进一步提高。”
EVG进一步支持其在MEMS竞技场的专业知识，宣布了MEMS市场今天基于Norway的MEMS传感器Sensor Sensoner Technologies的另一个关键顺序，订购了用于热成像制造的EVG Gemini。EVG还向其武器库增加了另一个摇头，推出了新的EVG520L3半自动，高效率的晶圆粘结系统，用于应用程序，包括3D IC，MEMS和CMOS兼容性的金属键合。
那些有兴趣了解有关EVG的SMS-NIL技术和广泛的晶圆粘合和光刻设备组合的人，被邀请在2010年10月19日至2010年10月19日至21日在Messe Dresden，Dresden访问Booth＃1568（Hall 1）的公司。app亚博体育， 德国。