牛津仪器等离子技术，蚀刻，沉积和增长系统的领导者最近收到了印度印度班加罗尔印度科学学院（IISC）纳米电子卓越中心（CEN）的三种等离子蚀刻和沉积工具的订单。亚博老虎机网登录这三个System100工具将位于CEN最先进的纳米制作设施的新清洁室中，并由两个Plasmapro System100 ICP COBRA ETCH工具和一个Plasmapro System100 PECVD工具组成。
System100的负载锁定晶圆输入允许快速晶圆交换，最大的工艺气体范围和扩展的过程温度范围，用于等离子体蚀刻和沉积过程的灵活和强大解决方案。为复合半导体，光电子，光子学，MEM和微流体应用程序提供最大的过程灵活性，plasmapro System100等离子体蚀刻器和沉积工具可以具有许多配置，包括IISC订购的ICP和PECVD选项。
ICP-RIE系统和PECVD系统已配置为CEN，IISC所需的最广泛的流程范围，该过程是多用户国家设施。蚀刻化学包括蚀刻聚硅，氧化硅，氮化硅和多种金属的能力。除了硅处理外，该工具还配置为GAAS和GAN工艺能力，可为高速，高频功率晶体管配置。PECVD系统可为MEMS传感器，低温氧化物和非常厚的聚硅膜作为惯性传感器的结构材料提供应力的氮化物。
评论来自IISC电气通信工程部的Navakanta Bhat教授，“我们选择订购牛津仪器系统的出色流程统一性以及公司提供的高度支持。员工及其与客户合作的意愿，将客户视为合作伙伴。
我们的新设施将是该国的同类设施之一，在新建筑（90,000平方英尺）的纳米科学与工程中心（Cense）中有14,000平方英尺的清洁室（Cense）。亚博老虎机网登录最新的清洁室将容纳最佳工具，满足研究人员的各种需求，而牛津仪器的系统则提供了我们需要的过程和领先技术的广度。牛津仪器的系统将使IISC能够在包括纳米级电子和MEMS在内的许多领域进行边境研究，并帮助我们实现我们创建可以由行业商业利用的技术的目标。”
牛津仪器销售和客户支持总监马克·沃斯鲁（Mark Vosloo）对此订单感到满意：“一年中的第二次订单来自一家重要的印度研究所，这是由于我们通过先进的技术和服务满足客户需求的能力，同时拥有他们能够依靠我们创新的世界一流产品的经验。”