卡尔·蔡司（Carl Zeiss）今天引入了Orion®和氦离子显微镜的新气体注入系统。惰性气离子离子与样品表面相互作用体积较小的惰性气离子离子的组合（小于0.35nm）的组合可以使高度精确的诱导化学分配。
所得的结构具有极小的尺寸和高度的保真度。8月1日至5日在俄勒冈州波特兰举行的M＆M 2010会议上，这项突破性技术已在2010年的M＆M 2010会议上揭幕。
用氦离子束沉积的钨柱（高7700nm，直径为45nm）。
代尔夫特技术大学卡夫利纳米科学研究所的Paul Alkemade博士是氦离子引起的沉积和蚀刻的早亚博老虎机网登录期研究人员之一。根据Alkemade博士的说法，“纳米化的最佳仪器需要高空间分辨率和高沉积效率。幸运的是，Orion Plus Plus仪器上的氦离子束提供了沉积的分辨率，该分辨率比扫描电子显微镜（扫描电子显微镜（SEM）。此外，氦离子束提供的沉积效率与用重离子（GA）浓缩离子束（FIB）仪器实现的效率非常相似。随着气体注入系统的整合，猎户座氦离子显微镜为证明是纳米制作研究的正确工具。”
气体注入系统（GIS）的控件通过Orion Plus系统软件无缝集成。GIS单元包含三个能够输送金属和绝缘体沉积和绝缘体蚀刻化学的坩埚。可以创建和召回用户可编程的配方，以允许复杂的沉积和蚀刻过程。Orion Plus上的气体注入系统创建了一个功能强大且灵活的平台，可实现最先进的纳米制作应用。
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