Air Products（NYSE：APD）今天宣布将Xenon Difluoride（XEF2）添加到其电子材料投资组合中。亚博网站下载XEF2用作蚀刻气体，主要在微电动机械系统（MEM）市场中。XEF2为制造商提供了对硅与SIO2和其他材料的高选择性。亚博网站下载
由于其大规模的空气分离单元和Xecovery™Xenon恢复系统，由于其35年的氟专业知识的历史以及其对负担得起的氙气的途径，空气产品具有独特的位置，可以为新兴的XEF2市场服务。
“我们的Xecovery和XEF2产品是互补的，共同为客户提供稳定的XEF2供应，” Air Products商业开发经理Tim Maykut说。“我们在化学合成方面的经验表明，我们开发的连续流动过程可以以符合MEMS市场的增长潜力所需的大量材料来提供高质量的材料。此外，我们对蚀刻过程应用的深刻了解和其他Etch材亚博网站下载料为任何XEF2用户提供了进一步的价值。此外，我们的包装和交付专业知识支持将此材料简化地集成到客户的设备上。”app亚博体育
空气产品已经建造了一种能够生产高达300公斤的试验厂，并且该生产技术可以迅速扩展到公吨的能力。
资源：http://www.airproducts.com/