牛津仪器等离子体技术（OIPT）最近开发了一种与其干泵一起使用的新功能，称为N2待机模式，这将节省其等离子体蚀刻，沉积和生长系统使用的能量和氮。以前，具有干式泵的系统使其氮吹扫持续设置在每分钟高达35升，但是当腔室正在运行过程气体时，氮只需要在这些水平上运行。
OIPT新推出的干泵N2备用模式，在“备用”模式下比在处理过程中使用时节省高达96%的氮气使用量。当系统只是泵送，处于“闲置”或“待机”模式时，可以控制干泵的氮气进口，以减少进入泵内的氮气量，同时仍然继续清洗泵轴承。除了有利于环境，这种能力还可以显著降低成本。
The pump can be set via Oxford Instruments’ PC2000 system software to run the preset flow of nitrogen for a set period prior to and after a process has completed its run, allowing all gases to be safely diluted and pumped away, before returning to the N2 Standby Mode. Initially this new capability can only be offered on systems configured with Adixen pumps. It is integrated as standard on new OIPT systems.
“牛津工具最近晋升为FTSE绿色指数，这一新能力只是我们正在进行的举措之一，以减少我们的客户 - 碳足迹”，评论Mark Vosloo，Oipt销售和客户支持总监。“随着减少所有权成本的增加的好处，这只能成为每个人的双赢局面。我们为自己提供了长期承诺，为客户提供了长期的承诺，让我们保证我们希望延长OIPT工具的生活，使它们尽可能环保。“