piP-563.3CD Pimars阶段是一个压电挠曲引导的扫描 /纳米流动系统。该单元可以通过分辨率进行精确运动控制，在XYZ中进行分辨率和340x340x340 µm行程，比目前提供的其他电容式反馈系统要多得多。集成，直接测量的电容传感器和数字闭环控制线性在传统压电阶段高达三个数量级。
典型应用：微制造，生物技术，纳米技术，扫描显微镜，纳米操作，纳米印刷，半导体和数据存储测试设备。app亚博体育
Pimars阶段如何工作？
PIMARS阶段包含了高强度固态压电执行器驱动器，无摩擦挠曲引导系统和绝对测量电容式位置传感器。固态压电执行器的高力允许在毫秒范围内快速响应和高扫描频率。
PIMARS阶段与其他纳米定位阶段有何不同？
PIMARS阶段基于与常规扫描阶段不同的设计原理。XYZ系统仅由一个移动零件，一个单个模块而不是三个单独的堆叠模块组成，就像其他XYZ系统一样常见。这种“并行型”机械设计与平行直接运动计量反馈系统相辅相成。
使用并行直接成年学，所有非接触式传感器都会在“从外部”中监视移动平台。他们可以“看到”离轴和跳动错误。然后，控制器实时消除了不需要的运动。常规的串行量表传感器（在每个轴中集成）无法检测到离轴误差。
并行运动计量学可以显着更高的XYZ精度。
功能和优势
- 340 x 340 x 340 µm旅行范围
- 66 x 66毫米透明孔径
- 纳米分辨率
- 毫秒响应能力
- 超高真空版本最多可提供10-9 HPA
- 可用的Invar，Super-Invar和Titanium版本
控制器
可以使用台式，OEM板和机架安装设计中的各种模拟控制器和数字控制器来驱动单元。