牛津仪器等离子体技术该公司刚刚从世界领先的太阳能电池制造商罗伯特•博世(Robert Bosch)那里赢得了一份五模组集群工具的合同。
System100Pro沉积工具是一个“Hex Handler”，可提供多种沉积技术，允许在不断开真空的情况下进行多个工艺步骤。集束工具可选择集成开尔文探头，以实现材料工作功能和光电压的原位测量能力，无需真空中断。
OIPT簇状系统为处理程序和工艺模块提供了高真空选择，从而降低了本底污染水平，并能够簇状不同的沉积技术。博世系统还集成了高达700ºC的高温衬底表选项，以及软件内功率倾斜的灵活性，从而最大限度地减少过程开始时的潜在损害。
博世总部位于德国斯图加特，开发、生产和销售以硅片和薄膜为基础的硅太阳能电池，其特点是高、稳定的输出和窄的输出公差。该公司购买了用于研发的OIPT集群工具。
随着可再生能源发电的发展趋势，OIPT正在成为日益增长的光伏研发市场的关键供应商，其在该领域的营业额比去年增加了一倍多。