希登分析宣布新的MAXIM SIMS/SNMS工作站,该工作站结合了二次离子和溅射中性质谱法的高灵敏度表面测量,均在集成PC控制下。
该系统适用于静态和动态测量,并完全符合特高压,可选择氧、氩和铯离子源用于宽波束应用和20微米光斑大小的精细聚焦操作。该工作站配置为可接受不同类型的样品,并与内置的元素表面成像程序一起,提供表面成分和/或深度剖面特征的定量分析。
高透射质谱仪监测正离子和负离子,积分电子轰击离子源安装在样品表面,有效地提供了溅射中性的预电离。质量范围为1000 amu,此外,该系统对最低分子量的硼、铍和锂到单原子氢提供了特殊的灵敏度。
PC接口控制数据采集门控和扫描区域光栅,以集成物种和扫描坐标,应用于Hiden ESM Labview表面成像程序。完整的光栅区域可由用户定义,最大可达4mm x 4mm,数据采集从第二个内部定义区域,以避免火山口侧壁干扰。
该系统包括快速进入负载锁定和样品传输台、电子束电荷补偿、CCD摄像机和烘烤外壳。主真空室是多端口的,完全可接近,用于安装附加附件和提供系统配置选项。主室、离子枪和样品负载锁使用独立涡轮分子泵,以确保全超高压运行,系统基础压力小于10E-9 mbar。