牛津仪器等离子技术(OIPT)领袖为蚀刻生产系统和流程,沉积和增长,最近收到一个订单从海事局巴塞罗那的System100集群平台两个ICP-RIE流程模块。该系统将用于铝蚀刻,牛津仪器专业领域之一。
国家微电子中心(CNM)是美国最大的公共微电子研发中心在西班牙,和由三个机构,包括巴塞罗那学院Microelectronica IMB-CNM。
半径标注。安娜桑切斯爱茉莉从海事局巴塞罗那评论道,“在IMB-CNM,我们的设施包括一个集成的微纳米加工洁净室和其他补充实验室微系统流程,设备包装和电气特性描述。IMB-CNM的洁净室设施包括设备微型和纳米加工过程基于硅技术,这里我们将使用OIPTapp亚博体育系统研发。我们选择OIPT系统公开招标过程的结果,不同的项目评估,即技术和经济方面,腐蚀过程与证明系统的专业知识和水平的提供客户支持”。
OIPT的销售和客户支持主管马克Vosloo说:“牛津仪器工具提供良好的均匀性和高通量过程在一系列应用程序。我们灵活的集群系统等研发都合适的国际海事局洁净室安装、和生产应用程序,并支持我们的广泛的过程库。作为行业领导者,我们很高兴我们的系统被这所著名研究所选择的。”