ASM举办技术研讨会原子层沉积

ASM国际喷嘴速度(纳斯达克:ASMI和阿姆斯特丹泛欧交易所:ASM)今天宣布,它将举办一个技术午餐研讨会在巴尔的摩,马里兰州,周三,2009年12月9日最后一天的国际会议(IEDM)电子设备。研讨会将讨论重要材料、设备和工艺的创新,使high-k体积的盖茨和金属亚博网站下载制造业,包括流程使用原app亚博体育子层沉积(ALD)和等离子体增强ALD (PEALD)。

事件将在两个部分:

  • 第1部分:11:30 - 12:15步行海报会议和午餐自助餐。
  • 第2部分:12:15 - 13:00——演示:
    • 菲利普Absil (IMEC)“盖茨ALD High-k和金属的过程解决方案”
    • Hyung唱公园(ASM)“低温PEALD SiO和罪定位器”

演讲后,将会有一个开放的对话在海报和展示主题。

ASM研讨会将在体育场舞厅在卡姆登的万豪酒店巴尔的摩内港码,110南Eutaw街,巴尔的摩,马里兰,不到150米的希尔顿巴尔的摩。房间将在11:30开放。相关各方应该联系罗赞·德·弗里斯+ 31 88 100 8569,(电子邮件保护)

引用

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  • 美国心理学协会

    ASM国际。(2019年2月10日)。ASM举办技术研讨会原子层沉积。AZoM。检索2023年3月09年从//www.washintong.com/news.aspx?newsID=19974。

  • MLA

    ASM国际。“ASM主机原子层沉积技术研讨会”。AZoM。09年3月2023年。< //www.washintong.com/news.aspx?newsID=19974 >。

  • 芝加哥

    ASM国际。“ASM主机原子层沉积技术研讨会”。AZoM。//www.washintong.com/news.aspx?newsID=19974。(09年3月访问,2023)。

  • 哈佛大学

    ASM国际》2019。ASM举办技术研讨会原子层沉积。AZoM, 09年2023年3月,//www.washintong.com/news.aspx?newsID=19974。

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