应用材料公司。亚博网站下载该公司是全球纳米制造技术解决方案的领导者，拥有广泛的创新设备、服务和软件产品，用于半导体芯片、平板显示器、太阳能光伏电池、柔性电子产品和节能玻璃的制造。app亚博体育这是业界第一个完全集成的消减和真空抽运解决方案，用于控制半导体工厂的排放。
与现有配置相比，iSYS系统通过与应用过程工具联网，每年可节约电力、水和天然气消耗，相当于200MWh的能源或22万磅的二氧化碳排放。除了具有环保效益外，iSYS系统还降低了20%以上的处理工具真空抽吸的公用事业成本。
iSYS平台节约资源的关键在于其独特的控制系统，该系统可与晶圆加工工具同步，实时感知每个加工室的变化，并将子系统引导到预定义的待机状态。每一个iSYS平台都内置了电力计量传感器和软件，可以远程监测累计节能情况，并跟踪实现能源可持续性目标的进展情况。
Applied全球服务副总裁兼总经理Charlie Pappis表示:“通过iSYS平台，Applied正在利用其无与伦比的设备自app亚博体育动化和过程工具技术，为减少半导体制造中的浪费创造一个智能解决方案。“通过调整资源消耗来应对不断变化的工具条件，iSYS平台可以帮助我们的客户降低运营成本，支持可持续的制造实践。”
高度紧凑的应用iSYS系统可以在不到一天的时间内安装，比非集成系统节省40%的空间。iSYS的设计从一开始就最大限度地简化了维修，整合了主要部件，消除了冗余，极大地减少了外部连接的数量，同时优化了维护人机工程学。通过将较轻的部件堆叠在较重的部件之上，并优化管道路径，技术人员可以快速完成所有服务任务，包括更换泵，而无需特殊设备。app亚博体育
iSYS平台实现的大量节能是在应用公司先进的Maydan技术中心使用Applied Producer GT PECVD*系统，采用SEMI S23方法进行测量的。iSYS最初是为应用材料公司的CVD系统推出的，灵活的iSYS亚博网站下载架构也可以支持蚀刻应用。欲了解更多信息，请访问:http://www.applied亚博网站下载materials.com/products/isys_2.html．
* PECVD =等离子体增强CVD