Applied 亚博网站下载Materials，Inc。，纳米制造技术解决方案的全球领导者，拥有广泛的创新设备，服务和软件产品组合，用于制造半导体芯片，平板显示器，太阳能光伏电池，灵活的电子和能源效率的玻璃app亚博体育在降低系统成本成本（COO）的同时，通过推出了用于高级金属CMP应用的应用反射GT系统。
该系统的新颖的双磁力设计为CMP性能和生产率设定了新的基准测试，比竞争系统提供了出色的轮廓控制和高60％的吞吐量。反射GT还大幅度削减了消耗品的成本，每个抛光垫的浆料和处理的量最多要少30％。
反射GT系统的关键是其双模式体系结构，使两个晶圆使用独立控制的泰坦轮廓抛光头在每个台式上同时处理。（照片：商业资讯）
Applied的CMP业务部门总经理Lakshmanan Karuppiah说：“今天基于铜的逻辑和内存设备具有更多的铜互连层，需要更快的CMP处理以及更有效地使用消耗品。”“就像Applied的高度成功的生产商GT CVD*平台一样，Reflexion GT系统是另一台为客户提供的梦想机器 - 将CMP技术的创新与双磁力处理相结合，以实现最佳的性能。除了其高速通量，其高速吞吐量，这种新的体系结构使客户能够在消耗品的成本上获得大量节省，这通常占每个晶圆总成本的70％。”
Reflexion GT系统基准性能的关键是其双模式体系结构，从而使两个晶圆使用独立控制的泰坦轮廓抛光头在每个台式上同时处理。抛光完成后，具有Applied的Marangoni蒸气干燥的并行路径，干净的模块可提供高效的无水晶片清洁。该系统的专有，实时概况和端点控制技术提供行业领先，晶圆到磁力均匀性。
反射GT系统现在可用于铜互连平面化，并证明了对Tungsten应用程序的扩展。这种创新的系统增加了Applied在CMP技术领域的领导力，在全球客户站点拥有超过2700个系统。有关更多信息，请访问http://www.applied亚博网站下载materials.com/products/reflexion_gt_cmp_4.html。
*CMP =化学机械平面化；CVD =化学蒸气沉积