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新建应用范机Astra毫秒安眠系统是晶体管制造的重要突破,可加速低电耗设备(hoto:商业电讯)
应用微秒安眠技术将使我们能够成功编译客户最先进设备设计Shang-Yi Chang高级副总裁台湾半导体制造有限公司VantageAstra系统现为TSMC记录工具 Nisianaling
公司副总裁兼应用端产品业务单元总经理Steve Ghanayem表示:「我们正以应用单向热处理十年领导能力为基础帮助客户解决关键晶体管缩放挑战”。Vantage Astra系统新颖激光架构为生产适配度制定新标准,为高级Aneal应用提供强制值建议
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Vantage平台可配置两个Astra毫秒Anneal机房或astra机房,并配有传统RTP* RadiancePlus或RadOx机房独有弹性允许客户在同一生产验证房平台上执行所有热处理步骤-毫秒、加注和浸泡退火,加多亚化和氧化应用详情访问亚博网站下载http://www.appliedmaterials.com/products/fep_vantage_astra_dsa_4.html.