牛津仪器将血浆蚀刻和沉积解决方案出售给法国研究中心

牛津仪器等离子技术(OIPT)最近,与法国研究中心的法国研究中心赢得了法国斯特拉斯堡的法国研究中心,以供应Plasmalab System80 Plus ICP系统。

牛津仪器等离子技术的plasmalab80加ICP系统

Stnano是新的Strasbourg纳米制造平台,由IPCMS(CNRS实验室)和Strasbourg大学(UDS)共同建立,并通过自上而下的方法在设计纳米结构方面具有专业知识,并研究其磁性特性。

牛津仪器的Plasmalab System80plus系统是一种用于等离子体蚀刻和沉积过程的柔性,紧凑和经济的解决方案。Stnano购买了电感耦合等离子体(ICP)构型,以处理包括硅蚀刻在内的多种材料。亚博网站下载

OIPT的Plasmalab System80Plus也可用于蚀刻和沉积(ICP-PECVD),反应性离子蚀刻(RIE),血浆蚀刻(PE)或血浆增强的化学蒸气沉积(PECVD)。

Stnano的纳米制造经理Hicham Majjad博士说,研究中心选择了牛津工具工具,因为它适合其研究要求。“作为法国领先的研究中心,我们要求我们可以找到的最高规格系统适合我们正在从事的工作的规格。Plasmalab80Plus Open Load Design允许快速加载和卸载,非常适合原型制作和低容量生产环境,例如我们的。

该系统是作为Stnano计划的一部分购买的,该计划为我们的洁净室配备了在分子电子,自旋和聚合物领域中用于纳米和微型制造的最先进的仪器。”

奥普(Oipt我们经验丰富的过程工程师团队,能够提供流程和技术,以支持我们的客户的要求。”

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    牛津仪器等离子技术。(2019年2月10日)。牛津仪器将血浆蚀刻和沉积解决方案出售给法国研究中心。Azom。于2021年11月15日从//www.washintong.com/news.aspx?newsid=19758检索。

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    牛津仪器等离子技术。“牛津仪器将血浆蚀刻和沉积解决方案出售给法国研究中心”。Azom。2021年11月15日。

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    牛津仪器等离子技术。“牛津仪器将血浆蚀刻和沉积解决方案出售给法国研究中心”。Azom。//www.washintong.com/news.aspx?newsid=19758。(2021年11月15日访问)。

  • 哈佛大学

    牛津仪器等离子技术。2019。牛津仪器将血浆蚀刻和沉积解决方案出售给法国研究中心。Azom,2021年11月15日,//www.washintong.com/news.aspx?newsid=19758。

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