牛津仪器等离子技术（OIPT）作为蚀刻、沉积和薄膜生长系统的领先制造商，很高兴地宣布了来自加利福尼亚大学圣塔巴巴拉（UCSB）CA，美国的柔性原子层沉积（ALD）工具的订单。
FlexAL是一个紧凑的等离子ALD系统，允许在单个紧凑的工具中结合等离子和热ALD，使其成为前沿研究的理想工具。”牛津仪器FlexAL ALD系统的加入使UCSB纳米制造设施兴奋不已。该系统为基于热和等离子体的过程提供了极大的灵活性，并提供了现场诊断工具，以满足我们设施内各种光学和电子设备研究工作的需要。我们期待着与牛津仪器公司合作。”加州大学商学院欧洲经委会部Brian Thibeault评论。
OIPT的ALD产品经理Chris Hodson说，“牛津仪器公司很高兴UCSB选择了我们最先进的等离子ALD系统，用于他们未来在薄膜生长方面的研究活动。我们也很高兴能够成为该大学纳米制造设施的一部分，该设施成功地将当地纳米技术公司和研究人员连接成一条遍布全国的链条。这是我们在NNIN网络中的第四个等离子ALD系统。”