领先的蚀刻、沉积和生长工艺和系统，牛津仪器等离子体技术（OIPT）他刚刚推出了nanofab800敏捷系统。该新工具扩展了Nanofab的高度灵活的工具和成熟的工艺范围，除了提供标准和高温PECVD外，还提供催化剂处理和纳米管和纳米线的可控生长。
Nanofab800Agile系统为影响纳米结构的生长提供了发展机会。温度高达800摄氏度，灵活的加热和冷却，快速周转系统还提供了对准和纳米结构尺寸的控制。
额外的效益包括可变样本尺寸，高达最大200mm晶片，优异的温度均匀性和敏捷温度控制。该系统配置有真空载荷锁，以确保工艺重复性和腔室清洁度。
采用可选的液体源输送系统，以及定制开发的设置进行对齐的增长和薄膜应力控制，纳米纤维有能力在高压和高流量方面进行过程。
Ian McKinlay是Oipt评论的高级产品经理，“作为一家我们不断努力改善为客户提供的产品。这是我们的范围的最新补充意味着我们的客户将从高级功能中受益，例如快速加热和冷却周期，优异的温度均匀性和过程控制。由Oipt的广泛的流程库和应用程序专业知识支持，结合我们对持续优越的客户服务和支持的承诺。“