在蚀刻过程中使用氙气（XEF2）在蚀刻过程中的使用正在增加对微机械系统（MEMS）制造商的接受。但是，材料的相对较高的成本仍然是更广泛采用的障碍。现在，空气产品（NYSE：APD）已扩展其Xecoverysm：Xenon Recovery Service从基于XEF2的蚀刻过程中恢复Xenon，这将有助于稳定甚至降低XEF2的价格，XECEDICS的商业开发经理Gene Karwacki Air Products的商业开发经理Gene Karwacki是Air Products，他是Air Products的商业开发经理。在Semicon West 2009 Extreme Electronics Techxpot上发表讲话。
卡瓦基说：“ XEF2的定价受到Xenon的可用性和定价的强烈影响。”“在过去的两年中，XEF2的市场价格增加了一倍以上，因为在其他应用中对XENON的需求（例如半导体制造，等离子体显示，照明和航空航天）的需求。MEMS流程，Xecovery为其流程所需的材料提供了更稳定，更低的成本结构。”
Xecovery Xenon Recovery Service是一种现场服务，可从过程废水流中提取氙气。恢复后的氙气的富集混合物被压缩并存储。然后将完整的容器运输出异地以进行蒸馏。Air Products负责拥有，操作和维护位于站点的单位，这仅限于客户的投资，仅限于与安装和公用事业相关的成本以操作设备。app亚博体育
卡瓦基说：“通过从废物流中恢复氙气，空气产品正在使用比从大气中提取氙气所需的能量少得多的能量回收有价值的材料。”“此外，空气产品然后可以使用回收的氙气制造XEF2。捆绑的Xecovery Service和Air Products提供的XEF2分子提供为MEMS市场提供了有吸引力的解决方案。”