Veeco Instruments (Plainview, NY)已加入微系统工业集团(MIG)，一个独家成员行业联盟组成的微系统技术实验室(MTL)在剑桥，MA。作为此次合作的一部分，Veeco向麻省理工学院的微系统技术实验室(MTL)捐赠了一台配备了动态MEMS封装的NT9800光学剖面仪和一台3100尺寸扫描探针显微镜。
Veeco计量执行副总裁Mark R. Munch博士说:“这是一个很好的机会，使我们与微系统技术实验室和其他组成微系统工业集团的领先公司和机构正式合作。”“我们的光学剖面仪和原子力显微镜的精密测量能力将有助于能源生成和存储、生物微电子机械系统(bioMEMS)和其他新兴工业市场的研发。此外，这也为Veeco提供了另一种重要的手段，使其能够与研究界和未来的技术需求保持联系。”
MTL主任Anantha P. Chandrakasan教授表示:“我们很高兴Veeco Instruments加入米格。我们期待与Veeco在多个研究领域进行富有成效的合作，包括纳米技术、先进计量、生物ems表征和化合物半导体器件。”
MTL位于马萨诸塞州剑桥市的麻省理工学院校园。
Veeco Instruments Inc.为太阳能、工业和科学研究、数据存储和半导体市场的客户提供性能解决方案。全球销售和服务办事处遍布美国、欧洲、日本和亚太地区。
MTL是麻省理工学院的一个跨学科实验室，有来自各个部门、实验室和中心的80多名主要研究人员参与。该实验室支持非系统领域的研究和教育，包括半导体工艺和设计、集成电路设计和MEMS。