2009年7月2日
今年Semicon West的晶圆处理部分将由网络tme虫半导体讨论新开发的粒子感应技术在实时监测流动设备中的空气颗粒以验证和分析晶圆污染的作用。app亚博体育yabo214
Cyboptics半导体开发了新的Wafersense（R）机载颗粒传感器（AP），以使工程师能够在随着晶圆的转移，缝隙阀转移，腔室进行循环，泵入和吹扫时有效地检测和分类颗粒及其精确源。yabo214APS与前端，座椅/开发人员轨道，沉积和蚀刻设备兼容。app亚博体育
该公司在过去的一年中开发了新的无线粒子感密度技术，并展示了其新的Wafersense®机载粒子传感器（APS）的原型，以准备在Semicon West发射的Fabs和OEM。博士学位，网络通用半导体的总经理兼CTO。
拉姆西说，新的APS将准备好在2H09进行购买订单履行，而类似晶片的设备旨在“降低工艺设备粒子资格的时间和费用，并提高死亡率”。app亚博体育
Cyboptics半导体将在Semicon West的North Hall的Booth 5761展示APS及其整个Wafersense计量设备。
“当过程工程师对粒子条件有实时的看法，并且可以解决特定的故障点 - 而不是在整个工具中猜测和检查 - 他们准备在第一次尝试中通过粒子资格做好准备，”拉姆齐说。“当工具失败粒子资格时，可以使用AP来发现添加过程粒子中的位置以监视晶片。”yabo214
拉姆西观察到，在晶圆处理经验降低了由于晶片污染而导致的死亡率下降之前，无法分离和减轻工具中粒子的来源的晶圆厂。yabo214
Ramsey称，网络tme虫的半导体开发了APS，使工程师能够在转移晶片，缝隙阀并进行循环，向下倾斜并清除时，在过程中有效地检测和分类颗粒及其精确来源。yabo214APS与前端，座椅/开发人员轨道，沉积和蚀刻设备兼容。app亚博体育
Ramsey说，APS旨在帮助Fab“通过减少设备停机时间，监视晶圆消费和工程劳动来降低其整体运营成本”。app亚博体育从减少的表面粒子计量设备加载木料的效率上，并在其计量排队保持短缺时会更加平稳地运行。app亚博体育
拉姆西补充说，自动化，真空兼容的设备不需要工程师打开室或将超洁净的工艺区域暴露于大气中。测试表明传感器具有检测0.1 um颗粒的能力。yabo214独立的设备使用风扇通过频道拉动粒子污染的气体，因为激光照亮了气流，而颗粒则将光散布在传感器的光二极管探测器上。yabo214
Fab工程师使用设备的配套软件，ArentarView™和PysectLereView™验证和分析工艺设备中的粒子条件。app亚博体育粒子视图的GUI显示累积或差分粒子计数，并允许用户标记日志文件，以指示该设备正在何处进行实时分区的过程。AptimLereView的GUI显示了APS获得的对数文件数据，以允许用户对机器对机器的趋势分析进行粒子条件分析并建立过程控制和进行过程改进。
Wafersense APS的规格和特征包括200和300毫米的外形尺寸，可通过特殊订单获得450毫米版本。与其他Wafersense设备一样，APS使用了无线蓝牙链接，并且与Windows 2000，XP和Vista兼容。
Wafersense APS软件包包括粒子感应晶片，与USB兼容的链接，粒子视图和特殊视图软件，充电清洁盒和手提箱。
Wafersense的设备家族包括自动振动系统（AVS），自动调整系统（ALS2垂直），自动教学系统（ATS）和自动盖片系统（AGS）。每个设备都遵循晶圆的处理寿命，并报告实时计量数据。