今天卡尔蔡司宣布，一系列推出涵盖了一系列产品和应用创新。该系列的开始标有下一代分析场发射扫描电子显微镜 - Merlin™。该仪器结合了现在超高分辨率成像和分析能力的矛盾要求。“Carl Zeiss SMT的董事会成员德克斯滕坎普博士解释说：”客户有不仅仅是其样本的高分辨率图像“，德克斯滕坎普博士解释道。“具有独特的分析功能，我们的仪器提供最大洞察力的最大信息”。
卡尔蔡司的新型FE-SEM MERLIN™的一个关键方面是易于使用，例如在不到一分钟的时间内进行原位样品清洗、独特的电荷补偿或图像采集。
MERLIN™-集分析和高分辨率于一体
Merlin Fe-SEM克服了图像分辨率和分析能力之间的冲突。Merlin的核心是增强型双子座II柱，其双冷凝器系统实现了0.8纳米的图像分辨率。高达300纳米孔的样本电流可用于分析目的，例如能量和波长分散性X射线光谱（EDS和WDS），反向散射电子（EBSD）的衍射分析或产生阴极发光的产生。
对于过去无法充分执行的任务，系统为用户提供了广泛的详细解决方案。卡尔·蔡司的“完整探测系统”为这一成就奠定了基础。这包括用于表面成像的透镜内SE探测器，用于材料对比度的透镜内EsB探测器和用于广泛分散的背散射电子的AsB探测器。后者包含关于样品晶体取向的具体信息。
MERLIN独特的电荷补偿系统也允许非导电样品的高分辨率成像。聚集在样品表面的电子被细小的氮气射流扫走。在此过程中，可以使用MERLIN的完整检测系统。电荷补偿系统的另一个特点是一个纯氧通道，可以进行样品的原位清洗。在真空室中，样品表面经常出现的碳沉积被去除，从而产生明显清晰和对比度的图像。这两种选择都允许用户专注于样品的成像和分析，而不是在样品制备上投入时间和金钱。
Merlin的新电子系统允许灵活的仪器配置。额外的探测器可以快速改装，允许用户将系统调整到不断增长的要求。此外，这种灵活性使投资更具未来，使用户能够从正在进行的探测器开发中长期受益。
Stenkamp指出:“新的MERLIN，以及刚刚推出的AURIGA CrossBeam工作站完美地体现了我们产品的含义:最大信息-最大洞察力。”“而且，在8月底在奥地利格拉茨举行的M&M展会和欧洲显微镜会议之前，市场可以期待在接下来的几周内看到更多的显微镜。”