牛津仪器等离子技术（OIPT），用于蚀刻，沉积和增长系统系统的领先制造商宣布利物浦大学的二级订单，用于其蛋白石开放负载原子层沉积工具。Oipt的紧凑型蛋白石系统是一种独特的热ALD工具，具有清晰，易于升级的血浆途径，可以在单个工具中组合等离子体和热ALD。第一个系统是作为EPSRC资助的研究项目*的一部分购买的，第二个蛋白石是作为联合行业/政府资助计划的一部分购买的。利物浦大学继续加强与行业的联系，并通过与OIPT和SAFC HITECH的合作来实现这一目标。
牛津仪器的蛋白石ALD系统
“我们当前的蛋白石系统用于使用氨和金属有机前体来开发热ALD过程，用于沉积氮化氮化物和氮化氮化物 /氧气含量，这些材料对综合电路中的栅极堆栈具有重大兴趣。OpalSystem是。亚博网站下载一个扎实的研究工具，建造良好，具有用户友好的控制系统。作为一名有兴趣开发ALD流程的研究科学家，我尤其喜欢这样的事实，即蛋白石显示了很多范围，以供未来的扩展（例如等离子体升级选项）并访问原位监控的端口，”
利物浦大学，工程系的保罗·白垩教授补充说：“这种额外的蛋白石系统通过等离子体扩大了我们的研发机会。我们之所以选择蛋白石，是因为它的灵活性以及在此处和其他大学运行的研究应用程序中都建立了良好的适用性类似的项目。”
Oipt ALD产品经理克里斯·霍德森（Chris Hodson）表示：“牛津工具以其对合作研究的持续承诺而自豪，并参与了全球著名的大学。我们的蛋白石系统在研究平台中提供了最先进的ALD功能，这是理想情况下是理想情况下的适合行业合作，我们致力于为利物浦大学提供顶级设备和支持。”app亚博体育
*ep/e048560/1-氮化物和兰烷氮化物的原子层沉积