Applied 亚博网站下载Materials,Inc。今天,推出了其应用的充电器UBM PVD系统,该系统定义了金属沉积生产率和芯片包装可靠性的新标准。充电器系统的新线性体系结构专门设计用于重型金属化(UBM),再分配层和CMOS图像传感器应用程序,使竞争系统的晶圆输出倍增了一倍,以提供最高的可用生产率。
此外,专有的Isani晶圆处理技术允许充电器UBM系统在维修之间处理十倍的晶片,以实现最佳的正常运行时间性能和最低可用的每锅费用。
“包装设施需要快速,可靠的金属化主力,以最大程度地提高晶圆输出,并最大程度地减少较慢,可靠较低的替代方案所施加的系统冗余负担,” Applied Materials Metal Metal Metal Debosition副总裁兼总经理Steve Ghanayem说亚博网站下载。“通过将我们经过验证的PVD*流程技术与包装特定的创新相结合,我们创建了一种高效,具有成本效益的解决方案,该解决方案已经在全球多个客户的大量生产中耗尽了大量生产的晶圆。”
充电器平台高生产率的关键是其简化的模块化体系结构,该体系结构很容易从三个到五个加工站扩展到依次放置多个薄膜,同时将晶圆保持在超高,超高的真空环境中。使用新型的Isani晶圆处理技术来调节传入的晶圆,该技术可确保传入的设备和金属膜之间的低电阻,低接合界面,同时还可以提供出色的缺陷性能和极大的扩展维护间隔。Applied的上级PVD反应堆技术可以定制每个薄膜层的特性,以获得最佳的设备性能,而灵活的体系结构则可以扩展到新兴的三维互连和包装技术。
充电器UBM系统建立在Applied在PVD金属化技术领域的二十年中。Applied的PVD系统几乎由全球所有高级制造商都用于制造芯片。