Oxford工具接收多序像碳沉积工具

发自牛津仪器等离子技术2009年2月17日

牛津仪器等离子技术高技术工具系统主要制造厂家最近收到多订单,总价值超过3.5M元,用于高级PlasmalabZQSystem133集群工具将使用这些系统沉积DLC-电机制造过程

DLC涂层有适当的电阻性使高功率半导体在更高电压下工作,1995年OIPT是第一批证明这一过程的公司之一,成功从实验室转大规模生产OIPT生产工具范围提供极优一致性、可复制性高通量过程,提供单片或磁带加瓦选项并带综合流程控件,使这些选项完全适合此应用

半导体电厂汽车工业、工业电子学、机器人学和流程自动化需求芯片可带更多电源并增强可靠性

Mark Vosloo,牛津仪器等离子技术销售主管评论,“我们多年基于System133集群工具的DLC进程专门知识确保我们能够满足客户高要求。公司经证明的流程能力和可靠的定制解决方案和许多其他挑战过程和市场应用

引用

请求使用下列格式之一在论文、论文或报表中引用此文章

APA系统
牛津仪器等离子技术2019年2月10日Oxford工具接收多序像碳沉积工具AZOM2023年3月10日检索网站s://www.washintong.com/news.aspx?newsID=15649
yl
牛津仪器等离子技术Oxford工具接受多序钻像碳沉积工具AZOM.2023年3月10日 .
芝加哥
牛津仪器等离子技术Oxford工具接受多序钻像碳沉积工具AZOM//www.washintong.com/news.aspx?newsID=15649.2023年3月10号访问
哈佛
牛津仪器等离子技术2019Oxford工具接收多序像碳沉积工具.AZOM浏览2023年3月10日网站s/www.washintong.com/news.aspx?newsID=15649