希登分析介绍了一种新型的IG-5C铯离子枪,用于一次离子束在SIMS测量负电元素和铯原子团簇分析中的应用。凭借独特的低功率、高亮度离子源、紧凑的离子柱和光束转向模块,该枪证明是动态、静态和成像SIMS的理想选择。
表面电离源产生的铯离子束高度聚焦,产生的光斑大小可调至20微米。该离子源组件结构紧凑,自对准,易于更换。束流能量在5kev到0.5kev之间变化,束流电流为150nA。安装法兰是2.75英寸/70毫米直径的conflat型法兰和单位是差泵,以保持真正的特高压压力。
IG-5C的控制是通过一个基于pc的界面,允许简单和可复制的设置。该界面控制电极参数和离子源的热管理,并为大电流和小点应用提供配置选项。光束光栅可以通过外部驱动,最小扫描时间为64微秒,通过光束偏转+/-4mm。另外还提供用于表面准备处理的内部预置光栅。与Hiden MAXIM或EQS SIMS探测器直接耦合,实现自动信号门控,从总扫描表面的任何预定义区域获取数据和表面成像。