牛津仪器刚刚赢得了一份订单，为美国加州劳伦斯伯克利国家实验室(伯克利实验室)的分子铸造厂提供6套系统，这是能源部用于纳米科学的用户设施和卓越的科学研究中心。亚博老虎机网登录订购的Oxford Instruments系统包括6个工具——3个ICP等离子蚀蚀系统，2个Plasmalab®80Plus工具和一个FlexAL®原子层沉积工具。该系统将使分子铸造厂的用户能够利用等离子体蚀刻和沉积来进行纳米科学的开创性研究。亚博老虎机网登录ICP系统和FlexAL将为伯克利实验室的特定研究需求量身定制新的功能。
硅线蚀刻使用牛津ICP 380 10纳米，20:1纵横比。
分子铸造厂是美国能源部(DOE)的全国性用户设施，负责为世界各地的学术、政府和工业实验室的纳米科学研究人员提供支持。亚博老虎机网登录它还为用户提供了仪器、技术和合作者，以加强他们对纳米尺度材料的合成、表征和理论的研究。亚博网站下载
作为高科技工具和系统的领先供应商，牛津仪器等离子技术(OIPT)与久负盛名的LBNL研究机构进行了长期合作。这项合作包括OIPT资助伯克利实验室分子铸造中心的一名博士后，专门研究纳米蚀刻的先进过程控制，并证明OIPT继续参与科学研究。
牛津系统将使分子铸造厂在诸如具有超光滑侧壁的微和纳米级硅特征蚀刻、20纳米以下特征的图案转移、用于纳米压印模板和印刷的等离子蚀刻以及共形膜沉积的亚纳米控制等领域发挥作用。
Mark Vosloo是牛津仪器等离子技术的销售总监，他说:“我们很高兴收到来自如此有声望的客户的订单，这强调了我们提供市场领先的工艺技术的重要性。”