Horiba Scientific很高兴宣布独特的自动SE为2008 IC行业新系统奖的获奖者。
IC行业奖是一个公认的平台，可让半导体行业判断为行业服务的产品和实践。
新的自动SE是唯一一个简单的集成光谱椭圆机解决方案，用于确定薄层和多层的厚度和光学常数。
这个新的薄膜测量工具旨在满足薄膜质量控制要求。它提供完整的自动化（加载，对齐，映射），自动选择8个不同的斑点尺寸低至25x60 µm，以及独特的集成视觉系统。它由直观的自动软软件控制，该软件可实现按钮薄膜分析进行常规操作，并具有高级工程和服务模式，可用于表征新材料。亚博网站下载
“我们认为，自动SE是光谱椭圆法的主要转折点，因为它非常快速，简单地提供准确的薄膜质量控制。Myautoview视觉系统的独特成像能力准确地显示了放置测量点的位置，因此它是表征图案样品的理想选择。我们很荣幸能代表薄膜部门获得该奖项，因为自动SE是所有薄膜工作人员不断努力的结果。