Veeco Instruments Inc.据悉，其新的洞察（TM）3D自动原子力显微镜（3DAFM）平台已被用于光学接近校正（OPC）建模的关键尺寸（CD）参考计量的关键全球半导体客户接受。Insight 3DAFM提供了高度准确，无损，高分辨率的三维（3D）测量临界45nm和32nm半导体特征，与速度有资格作为真正的Fab工具。Veeco还宣布，它从韩国领先的半导体器件制造商收到了系统的新订单。
Veeco计量公司执行副总裁Mark Munch博士评论说:“我们很高兴这个在参考计量领域处于领先地位的客户接受了这种高要求的应用。InSight 3DAFM为OPC计量提供最佳可用精度，减少残余测量误差，改善OPC周期时间。这可以大大缩短先进半导体器件的上市时间，并降低工艺开发成本。我们也很高兴地看到，一家关键半导体器件客户选择了InSight，用于45nm及以下的基于生产的栅式CD计量应用。”
“Sematech等行业领导者由于目前CD计量工具的局限性，Paul Clayton，Veeco的自动化AFM业务副总裁Paul Clayton表示，”诸如Sematech等需求。“在测试期间，Insight 3DAFM对各种OPC相关结构进行了大量测试，如线，VIA和线路和空间结束。我们的客户出色的效果表明，洞察力具有最低的任何CD计量工具的测量不确定性。“