2004年5月6日
美国国家标准技术研究所(NIST)将为一家合资企业的资助做出贡献分子烙印。该合资企业将在关键的半导体路线图节点上发展纳米印刷版画。
其他合资伙伴包括KLA-Tencor,Photronics,Motorola Labs和德克萨斯大学奥斯汀分校。他们与分子烙印一起将贡献1,910万美元的成本分配,而NIST又投入了1,760万美元。
项目的目标是建立与步骤和闪光印记光刻(S-FIL™)流程相关的必要技术基础架构,包括系统,材料和模板(蒙版)开发。亚博网站下载这项为期三年的项目将集中于密集的接触层,这对于硅整合电路制造至关重要。
该技术将满足苛刻的硅CMOS光刻要求。
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