发现MicroTec作为3D、MEMS、高级封装和纳米技术市场的创新解决方案供应商，该公司今天宣布已在repisaurus Technologies公司交付并成功安装了伽马涂层组件，repisaurus Technologies是一家革命性的金属化技术供应商，名为“电化学模式复制”(ECPR(TM))。它提供了一个简单和成本效益的集成解决方案，消除了几个传统的过程步骤，从而降低复杂性。SUSS的模块化涂层/烘烤/开发集群代表了最新一代旋转涂层大批量生产技术。Gamma系统旨在以最低的成本实现性能最大化，同时为各种应用提供一致的结果，如薄和厚电阻、BCB、介质或高形貌。
Replisaurus将在其专有的ECPR™工艺相关应用中使用Gamma，这是一种对芯片友好、环境清洁的金属化工艺技术，具有极快的电镀速率。ECPR™工艺将先进光刻的精度和分辨率与电化学沉积的简易和高效结合为一个单一的集成工艺解决方案。ECPR™针对的是关键的增长市场，如集成无源材料、铜柱和3D集成。
“Replisaurus选择Suss Microtec以支持我们的涂布机和开发人员技术，因为SUSS显然是该市场的领导者。詹姆斯·克斯（James Quinn）首席执行官表示，Suss Gamma系统通过为各种具有挑战性的材料提供始终如一的统一结果来满足我们的高性能要求。亚博网站下载副龙科技。
SUSS MicroTec光刻部总经理Rolf Wolf说:“Replisaurus一直致力于为先进的包装和3D集成市场开发生产工艺。”我们很高兴能够在Gamma系统中支持他们的技术。”