物理仪器公司PIHera是一家领先的纳米定位和精密运动控制设备半导体和光电子应用制造商，已经扩展了其柔性导向压电纳米定位台系列，现在提供创纪录的行程范围至1.app亚博体育8 mm。
新阶段捕获面积比传统阶段大200X
这些精密闭环柔性导向工作台可用于扫描探针应用(表面计量)和静态定位。由于移动范围长，他们可以扫描面积超过200倍的传统压电级，典型范围为100x100µm。大多数PIHera®工作台提供亚纳米分辨率，甚至1.8毫米版本在闭环操作中实现3纳米分辨率。紧凑的尺寸实现了一个新的，无摩擦和极其刚性的弯曲系统，也提供了快速响应和卓越的导向精度。弹道精度在低纳米范围内。采用专利、长寿命多层压电直线驱动器，提供高加速度力。在长距离行程范围内以毫秒响应和纳米精度控制运动的能力，使PIHera®工作台成为测量和QA应用的理想选择。
电容反馈提供更大的运动线性
该工作台配备了非接触电容传感器，并在亚纳米范围内提供高达99.98%的精度和有效分辨率的极线性运动。PI电容式传感器是绝对测量，直接计量的设备，具有很高的带宽，没有周期性误差。
典型的应用
表面计量，质量保证，扫描探针显微镜，纳米计量，干涉测量，纳米定位，纳米对准/半导体技术
特点和优势
- 无磨损:弯曲，执行机构和传感器免维护
- 采用专利陶瓷封装的压电执行器，使用寿命更长
- X, XY, Z和XYZ版本
- 50 - 1800微米移动范围，纳米分辨率
- 闭环数字和模拟控制，高达99.98%的位置精度
- Vacuum-Compatible版本
- 僵硬和紧凑的设计毫秒响应
- 无摩擦，免维护，精密弯曲导向系统
- 直接计量传感器，更快的伺服响应
灵活的控制器:高速，数字和模拟控制
各种超低噪声控制器，具有数字和模拟输入，提供快速通信，并具有广泛的软件工具选择。