HIDEN分析宣布引入完整的紧凑型SIMS设施,方便地安装在单个UHV汇合型法兰上。新系统恰当地命名为Sims-on-a-a-a-a-fange,允许用户快速在没有重大重建或对齐问题的情况下,在现有真空和处理室上安装完整的SIMS资源。
SIMS(二级离子质谱法)是一种高灵敏度表面分析技术,用于测定表面组成,用于污染物分析以及样品上层表面层的深度分析。应用于从几个埃词素到深度延伸到微米的分析,通过物种和丰度分析表面,通过原子层进行层。
该系统包括具有积分能量滤波器的分析级四极质谱仪,精细的氧气气体配备离子枪以及用于系统操作的所有必要软件和硬件,用于离子光束栅格扫描,用于数据显示,用于数据显示和表面映射。
质量范围选项可实现从1 AMU到1000 AMU的操作,而离子计数的检测正相正和负电荷的离子。标准安装法兰是DN-150-CF(6英寸端口尺寸)和DN-200-CF(8英寸端口尺寸),取决于选项。