KLA MicroXAM100轮廓仪和干涉仪

MicroXam100从心理契约是一种表面轮廓仪和白光光学干涉仪。Jim Zobel解释了该系统是如何工作的,并阐述了它的快速数据采集速率。

MicroXam100的数据可以用来确定:

  • 表面粗糙度
  • 一步的高度
  • 以及其他关于地表特征的计算

它也可以用来建立3D数据/图像,可以满足大样本。

播放时间:3:03分钟

MicroXam100表面轮廓仪和白光干涉仪

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