碳MEMS技术的过程(C-MEMS)

碳MEMS(C-MEMS)是指一种微生物技术,在不同的环境气体中,在不同温度下,光图案抵抗,在不同温度下进行热处理(热解)作为微型机械系统(MEMS)的碳质结构和功能材料。这种新材料允许采用具有各种形状,电阻性和机械性能的结构的全新新型MEMS应用。此外,碳表面形成更好的电化学电极,并且比传统的MEMS材料(如硅)更容易用有机分子衍生。亚博网站下载


碳MEMS技术(C-MEMS)

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