多层薄膜测量

利用他们的计量工具,FRT可以同时测量薄膜多层。在这个应用视频中,FRT向您展示了薄膜多层测量配方的典型步骤:传感器参考,多层同时点测量,氧化硅和氮化硅厚度预览,自动报告测量结果和数据图表。

运行时间:1:38min

FRT计量-薄膜多层测量

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