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下面是它的工作原理:https://www.pi-usa.us/en/tech-blog/sub-nanometer-resolution-piezo-linear-motor-with-interferometer-feedback-pi/在a上闭合循环V8压电线性电机Wi第一个激光干涉仪：分辨率降低到0.15纳米是可以实现的。
关于压电行走直线电机的更多信息:https://www.pi-usa.us/en/products/piezo-motors-stages-actuators/linear-piezo-motors-actuators-for-intogration/#c60205压电镜应用：https://www.pi-usa.us/en/tech-blog/search-blog-posts-by-category/piezo-actuators-motors/
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