MicroProf®带有设备前端app亚博体育模块（EFEM）

标准全自动晶圆测量工具 - FE，FS，AP和DI - 将全球建立的MicroProf®300的功能与设备前端模块（EFEM）内的晶圆处理系统相结合。app亚博体育通过完全半柔性的计量解决方案和持久的组件，带有EFEM的MicroProf®可用于任何前端高容量Fab（FE），可用于硅晶片铸造（FS）中的各种应用，不同的应用3D包装工艺步骤（AP）或综合缺陷检测应用（DI）。

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