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6D非接触表面计量器,用于六轴六轴六轴运动系统

6-D-针对六轴六边形运动系统的非球形光学计量器的非接触表面计量系统|pi

PI的6轴Hexapod精确定位系统可以帮助加快对潜在表面的测量。当需要测量纳米范围内的偏差并且需要高通量时,测试非球形形状精度对于制造商来说可能是一个主要的挑战。此处显示的系统基于由计量专家MAHR设计的新干涉仪,利用PI的6轴六轴运动和定位系统。

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