MEMS应用与系统

MEMS应用和系统:将基于硅的微电子技术与微机械技术、MEMS技术和基于微系统的设备相结合,实现下一代工业和消费产品,可能以最积极的方式影响我们的生活和我们的生活方式。现在,我们日常使用的产品中嵌入了数以百万计的MEMS设备。

牛津仪器公司利用包括深硅蚀刻、低温蚀刻、Bosch和ALD在内的技术,设计了多功能、高性能的系统,以促进这场MEMS革命。

了解更多信息,请访问https://plasma.oxinst.com

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