Pimag®-磁悬浮技术PI
这个视频提供了一个概述p®6-D磁悬浮由Physik instrument (PI)提供。该系统具有主动磁轨控制、被动运动平台、高刚度和纳米分辨率等特点。该系统还具有100 × 100 × 0.15 mm³的运动范围。轨迹运动可以在2米/秒的加速度下进行2速度可达100毫米/秒，精度可达纳米级。在平移轴上的标准偏差<6 nm，在旋转轴上的标准偏差<250 nrad。该膜的分辨率为10 nm。
该平台在定子中由六个平面线圈产生的磁场悬浮，用6-D传感器主动控制磁场。Halbach阵列包括永磁体段，磁化方向沿阵列的纵向轴线的方向彼此倾斜90°。这使得场线在一侧靠近在一起，从而增加磁流密密度。6轴悬浮系统没有机械或空气轴承。
运行时间 - 2：10min
6D Maglev阶段如何提供纳米精确运动？磁悬浮|www.pi.ws.