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该视频显示了工作机制Physik Instrumente（PI）的混合阶段。PI提供了一个独特的混合概念，并具有父位置测量和闭环控制。一些关键功能包括同时控制压电弯曲驱动器和DC-Servo/Ball螺丝驱动器，纳米范围内的可重复性，毫秒的安装时间到纳米计精度，高一致的速度以及高驱动器以及高驱动器以及以最小的能量需求/热需求/热量需求持有的力耗散。
混合阶段主要适用于需要高精度来测量和返回位置的应用，或用于表面检查和计量学以准确地达到纳米计的目标位置。
运行时间-0：48分钟
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