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这段视频展示了工作原理平行 - 运动纳米定位系统从物理仪器(PI)。纳米定位系统配备电容传感器,减少惯性,并并行计量安排。视频中的箭头表示从传感器到闭环控制的信号流。红色:X轴,蓝色:Y轴。
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