PI的集成解决方案
该视频显示了从Physik仪器(PI)用于测试移动端设备的用户界面。它展示了精确自动化的广泛前景。XY阶段的线性电动机可确保在平面上快速低磨损定位。HEXAPOD可以在六个自由度下对测量传感器进行精确比对,以便可以以各个角度将测量探针应用于表面。此外,传感器通过语音线圈驱动器通过定义的力进行调节。控制通过具有醚猫接口的模块化ACS运动控制器进行。这些多面设置的量身定制设计是由PI的工程系统产品部门完成的,以确认一个单一来源的系统责任。
PI集成解决方案的特征包括柔性行进范围和垂直方向的力,分辨率为5 nm,230 mm x 230 mm平面XY运动,1 MN力传感器分辨率,无铁线性电动机和ACS运动控制。
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PI集成解决方案