RPMBlue-FS PL测绘系统来自纳米半导体用户

该视频展示了Nanometrics公司的RPMBlue-FS光致发光(PL)绘图工具的功能，可在需要时使用机器人晶片处理程序进行固定。该PL测图系统具有研究级300mm焦距单色仪，可覆盖200nm ~ 2.6μ的波长范围。它甚至可以处理从2到6英寸的晶圆。

该高速室温PL映射器可以满足化合物半导体用户的要求。它有能力控制多达8个MOCVD反应器，在国外样品上的吞吐量为每小时近35片，在2“LED晶圆上的吞吐量为每小时80片。

时间:2:25分钟