隐藏式EQP等离子体质谱仪

希登分析的Mark Buckley解释了用于等离子体特征化的Hiden EQP质谱仪的操作和性能。工艺开发工程师和研究技术人员通常使用它来优化等离子体条件,以制造和制造新型设备。

它是一种真空系统,结合了四极质谱仪和高分辨率图像分析仪,从等离子体系统中取样中性,自由基,正离子和负离子。

它可以适用于空间分析,通常用于半导体、光伏、离子铣削和其他表面改性和涂层应用。

的希登EQP

时间:2:32分钟

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