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霍尔效应测量系统

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霍尔测量系统用于测定半导体的电阻率、载流子浓度和迁移率。使用该系统进行的测量可以用来表征半导体和化合物半导体。

典型的霍尔效应测量系统包括精炼的高压气体、气体管道、过滤/干燥装置、热级、真空室、磁铁结构、真空泵、弹簧探头和计算机接口。

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