等离子体诊断工具

由射频、直流、微波和脉冲方法产生的等离子体在研究和工业应用中都被用于生产半导体等东西。为了确保过程的准确性和可重复性，等离子体诊断工具被用来测量和表征等离子体参数，如密度、均匀性和等离子体的电子温度。